申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

申请日：2021-11-19

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN114322748B

主分类号：G01B9/02

分类号：G01B9/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开

摘要：一种偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法，干涉仪的组成包括：理想波前发生模块、待测光学系统、像面掩模、偏振相移模块、二维偏振成像光电探测器和数据处理单元。本发明采用单个光电探测器实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有抑制环境干扰、光路灵活、测量精度高、能够标定干涉仪系统误差等优点。

主权项：1.一种偏振同步相移点衍射干涉仪，其特征在于，包括：理想波前发生模块5沿理想波前发生模块5输出光方向依次是待测光学系统7、像面掩模8、偏振相移模块10和二维偏振成像光电探测器11，该二维偏振成像光电探测器11与数据处理单元12相连；所述的理想波前发生模块5位于待测光学系统7的物方视场内，用于产生两束偏振光，即左旋圆偏振光和右旋圆偏振光；所述理想波前发生模块5的第一输出光经过待测光学系统7成像后的像点与所述的像面掩模8的滤波圆孔802a的中心对准，第二输出光经过待测光学系统7成像后的像点位于像面掩模8的透光窗口801a内部；所述的像面掩模8位于待测光学系统7的像面，至少包括一个透光窗口和一个滤波圆孔，其中透光窗口用于透过理想波前发生模块5所产生理想波前经待测光学系统7形成带有成像系统波像差信息的测量光，滤波圆孔用于产生理想球面波；所述的偏振相移模块10，用于将输入光转化为不同偏振态的输出光，实现偏振相移后，由所述的二维偏振成像光电探测器11采集存储测量数据；所述的偏振相移模块10由多个微偏振阵列单元构成，每个单元中四个偏振片的偏振方向分别为0°、45°、90°、135°，偏振片的尺寸与二维偏振成像光电探测器11的像素单元尺寸相同，各偏振片与二维偏振成像光电探测器11像素单元呈一一对准关系。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 偏振同步相移点衍射干涉仪及其检测方法

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