申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2019-07-24

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112640057B

主分类号：H01L21/304

分类号：H01L21/304

优先权：["20180831 JP 2018-163869"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明涉及一种进行升华干燥的衬底处理方法及衬底处理装置，在使溶剂从包含覆盖衬底表面的升华性物质的干燥前处理液的液膜蒸发而在衬底表面上形成包含升华性物质的凝固体，且使凝固体升华，由此，从衬底表面上将液膜排除的干燥前处理液膜排除工序中，产生区域并存状态，所述区域并存状态是凝固体升华使得衬底表面干燥的干燥区域、残存有凝固体的凝固体残存区域、及残存有液膜的液体残存区域依次从衬底表面的中央部朝向衬底表面的周缘部排列的状态，一边维持区域并存状态一边以凝固体残存区域朝向衬底表面的周缘部移动的方式使干燥区域扩大。由此，能够降低由固体状态的升华性物质引起的应力的影响，从而减少衬底上的图案崩塌。

主权项：1.一种衬底处理方法，包含：干燥前处理液膜形成工序，通过将干燥前处理液供给至形成有图案的衬底表面，而在所述衬底表面上形成覆盖所述衬底表面的所述干燥前处理液的液膜，所述干燥前处理液是包含不经过液体而从固体变成气体的升华性物质与使所述升华性物质溶解的溶剂的溶液；以及干燥前处理液膜排除工序，使所述溶剂从所述液膜蒸发而在所述衬底表面上形成包含所述升华性物质的凝固体，且使所述凝固体升华，由此，从所述衬底表面上将所述液膜排除；且所述干燥前处理液膜排除工序包含：区域并存状态产生工序，产生区域并存状态，所述区域并存状态是所述凝固体升华使得所述衬底表面干燥的干燥区域、残存有所述凝固体的凝固体残存区域及残存有所述液膜的液体残存区域依次从所述衬底表面的中央部朝向所述衬底表面的周缘部排列的状态；以及干燥区域扩大工序，一边维持所述区域并存状态，一边以所述凝固体残存区域朝向所述衬底表面的周缘部移动的方式将所述干燥区域扩大。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理方法及衬底处理装置

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