申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司

申请日：2023-09-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220762253U

主分类号：B24B57/02

分类号：B24B57/02;B24B37/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本说明书实施例提供一种管路排气装置，包括入口管路、出口管路、储液部和侧管路，入口管路上设置有第一气控阀，出口管路上设置有第二气控阀；其中，第一气控阀的第一气口与入口管路相连接，第一气控阀的第二气口与侧管路的第一端相连接，第一气控阀的第三气口与储液部的第一侧相连接，第二气控阀的第一气口与出口管路相连接，第二气控阀的第二气口与侧管路的第二端相连接，第二气控阀的第三气口与储液部的第二侧相连接。通过设置储液部和侧管路，通过第一气控阀和第二气控阀变换不同的气口连接，可以排除研磨液管路内因更换过滤器产生的气体，不需要冲洗研磨液管路，成本较低。

主权项：1.一种管路排气装置，其特征在于，包括入口管路、出口管路、储液部和侧管路，所述入口管路上设置有第一气控阀，所述出口管路上设置有第二气控阀；其中，所述第一气控阀的第一气口与所述入口管路相连接，所述第一气控阀的第二气口与所述侧管路的第一端相连接，所述第一气控阀的第三气口与所述储液部的第一侧相连接，所述第二气控阀的第一气口与所述出口管路相连接，所述第二气控阀的第二气口与所述侧管路的第二端相连接，所述第二气控阀的第三气口与所述储液部的第二侧相连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海积塔半导体有限公司 一种管路排气装置

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