申请/专利权人：芯三代半导体科技(苏州)有限公司

申请日：2023-09-13

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767242U

主分类号：C30B25/08

分类号：C30B25/08;C30B23/02;C30B29/36;C30B29/40

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本申请公开一种用于外延设备的观察装置及外延设备。该观察装置安装在外延设备腔体上，该观察装置包括：套筒、观察窗和隔热组件，观察窗设置在套筒远离腔体的一端；隔热组件包括装设在套筒内壁上的支架，支架上配置有多个安装部，每个安装部上均插接有石英挡板，多个石英挡板间隔排列且相互平行设置，多个石英挡板被配置用于隔绝腔体内的热辐射，本申请通过在套筒内设置多个石英挡板来实现隔离外延设备腔体的热辐射，确保外延设备腔体内的高温不会对观察人员产生损害。

主权项：1.一种用于外延设备的观察装置，所述观察装置安装于外延设备的腔体上，其特征在于，包括：套筒，其安装于腔体上；观察窗，其设置在所述套筒远离腔体的一端；隔热组件，其包括设在所述套筒内壁上的支架，所述支架上配置有多个安装部，每个所述安装部上均安装有石英挡板，多个所述石英挡板间隔排列且相互平行设置，多个所述石英挡板被配置用于隔绝腔体内的热辐射。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯三代半导体科技(苏州)有限公司 一种用于外延设备的观察装置及外延设备

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