申请/专利权人：福建兆元光电有限公司

申请日：2023-04-06

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN220767140U

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权

摘要：本实用新型涉及气相沉积设备清洁技术领域，具体涉及一种金属蒸镀机轨道的遮挡片，包括多个沿所述金属蒸镀机轨道的受镀端铺设的片体，多个所述片体遮蔽所述金属蒸镀机轨道的受镀端，所述片体与所述金属蒸镀机轨道可拆卸连接。本实用新型在金属蒸镀机轨道的受镀端铺设多个片体，由片体遮挡气化的金属材料，防止蒸镀机轨道被蒸镀上金属膜层。在贵金属进行回收过程中，可将片体从蒸镀机轨道上拆卸下进行回收，从而避免对蒸镀机轨道造成损伤。

主权项：1.一种金属蒸镀机轨道的遮挡片，其特征在于：包括多个沿所述金属蒸镀机轨道的受镀端铺设的片体，多个所述片体遮蔽所述金属蒸镀机轨道的受镀端，所述片体与所述金属蒸镀机轨道可拆卸连接；所述片体朝向所述金属蒸镀机轨道的一端面上相对设置有裙边，所述裙边与所述金属蒸镀机轨道相抵接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建兆元光电有限公司 一种金属蒸镀机轨道的遮挡片

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