申请/专利权人：英飞凌科技奥地利有限公司;约安科研有限责任公司;因斯布鲁克大学

申请日：2023-10-13

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117894497A

主分类号：G21K1/00

分类号：G21K1/00;G06N10/40

优先权：["20221013 EP 22201426.8"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.16#公开

摘要：公开了用于利用集成波导控制所捕集的离子的器件。一种用于控制所捕集的离子的微制备器件，包括具有主表面的第一衬底。结构化的第一金属层被部署在第一衬底的主表面上。结构化的第一金属层包括至少一个离子捕集区的电极，至少一个离子捕集区被配置为捕集在结构化的第一金属层上方的空间中的离子。电介质元件被固定地附接到第一衬底，其中电介质元件包括至少一个短脉冲激光直写波导，该至少一个短脉冲激光直写波导被配置为将激光朝向被捕集在至少一个离子捕集区中的离子引导。

主权项：1.一种用于控制所捕集的离子的微制备器件，所述器件包括：具有主表面的第一衬底；被部署在第一衬底的主表面上的结构化的第一金属层，结构化的第一金属层包括至少一个离子捕集区的电极，所述至少一个离子捕集区被配置为捕集在结构化的第一金属层上方的空间中的离子；和被固定地附接到第一衬底的电介质元件，其中电介质元件包括至少一个短脉冲激光直写波导，被称为SPLDW波导，被配置为将激光朝向被捕集在所述至少一个离子捕集区中的离子引导。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 英飞凌科技奥地利有限公司;约安科研有限责任公司;因斯布鲁克大学 用于利用集成波导控制所捕集的离子的器件

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