申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日:2024-02-02
公开(公告)日:2024-04-16
公开(公告)号:CN117884516A
主分类号:B21D22/14
分类号:B21D22/14;B21D37/18;B21D37/16
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.04.16#公开
摘要:本发明属于半导体技术领域,涉及一种锅形靶材的加工方法,所述加工方法包括如下步骤:提供圆形坯料,对圆形坯料进行旋压成型,得到所述锅形靶材。本发明通过旋压成型的方法代替冲压成型,使加工过程更加方便快捷,能够避免冲压成型导致的无法脱模的缺陷。
主权项:1.一种锅形靶材的加工方法,其特征在于,所述加工方法包括如下步骤:提供圆形坯料,对圆形坯料进行旋压成型,得到所述锅形靶材。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种锅形靶材的加工方法
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