申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2024-02-18

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117706340B

主分类号：G01R31/28

分类号：G01R31/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本申请涉及一种叉臂组件及晶圆探针台。叉臂组件包括：叉臂及吸盘，叉臂具有凹槽及第一流道，叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，凹槽贯穿第一表面，凹槽包括连通且沿第一表面及第二表面的排布方向上排布的第一子槽及第二子槽，第一子槽贯穿第一表面且其径向尺寸小于第二子槽的径向尺寸，第二子槽连通第一流道；吸盘包括依相连的卡持部、连接部及吸嘴，卡持部的径向尺寸大于连接部的径向尺寸，卡持部位于第二子槽内，连接部位于第一子槽内，吸嘴环绕连接部的外周且位于第一表面侧，吸盘还具有第二流道，第二流道贯穿连接部背离卡持部的表面且贯穿卡持部的外周侧壁，第二流道与第一流道连通。所述吸盘稳固设置于所述叉臂。

主权项：1.一种叉臂组件，其特征在于，所述叉臂组件包括：叉臂，所述叉臂具有凹槽及第一流道，所述叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，所述凹槽贯穿所述第一表面，所述凹槽包括连通的第一子槽及第二子槽，所述第一子槽及第二子槽沿所述第一表面及所述第二表面的排布方向上排布，所述第一子槽贯穿所述第一表面，所述第一子槽的径向尺寸小于所述第二子槽的径向尺寸，所述第二子槽连通所述第一流道；以及吸盘，所述吸盘包括依次相连的卡持部、连接部及吸嘴，所述卡持部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸，所述卡持部位于所述第二子槽内，所述连接部位于所述第一子槽内，所述吸嘴环绕所述连接部的外周设置且位于所述叉臂的所述第一表面侧，所述吸盘还具有第二流道，所述第二流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部的外周侧壁，所述第二流道与所述第一流道连通；其中，所述第二流道包括弯折相连且连通的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述吸盘还包括抵持部，所述抵持部设置于所述卡持部背离所述连接部的一侧，所述抵持部的径向尺寸小于所述卡持部的径向尺寸；所述凹槽还具有第三子槽，所述第三子槽位于所述第二子槽背离所述第一子槽的一侧，且连通所述第二子槽，所述第三子槽用于设置所述抵持部，所述抵持部的外周侧壁抵持所述第三子槽的内壁；或所述第二流道包括弯折相连的第一子流道及第二子流道，所述第一子流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部背离所述连接部的表面，所述第二子流道贯穿所述卡持部的外周侧壁；所述叉臂组件还包括支撑件，所述支撑件设置于所述第一子流道且抵持所述第一子流道的内壁，所述支撑件具有第三流道，所述第三流道分别连通所述吸嘴围合的腔室及所述第一流道。

全文数据：

权利要求：

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