申请/专利权人：格科微电子(上海)有限公司

申请日：2019-09-09

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112466896B

主分类号：H01L27/146

分类号：H01L27/146;G06V40/13

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.03.26#实质审查的生效;2021.03.09#公开

摘要：本发明提供一种光学指纹器件的制造方法，采用带有红外截止滤光膜的有机透光层粘合至图像传感器晶圆，在所述有机透光层上形成若干微透镜，从而形成所述光学指纹器件，由于采用有机透光层代替了现有技术中的无机玻璃等透光材质，有机透光层的厚度通常为100μm左右，降低了光学指纹器件的厚度，并且由于有机透光层的优良强度和韧性，便于通过切割等工艺形成凹槽并填充挡光材料形成挡光结构，避免光线串扰导致的信号干扰，提高了成像质量，降低了工艺难度和成本，改善了光学指纹器件的整体性能。

主权项：1.一种光学指纹器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤:S100：提供图像传感器晶圆；S200：将带有红外截止滤光膜的有机透光层粘合至图像传感器晶圆，采用机械切割或激光切割于所述有机透光层中形成若干凹槽，并于所述凹槽中填充挡光材料；S300：在所述有机透光层上形成若干微透镜；从而形成所述光学指纹器件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 格科微电子(上海)有限公司 光学指纹器件的制造方法

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