申请/专利权人：烽火通信科技股份有限公司;烽火藤仓光纤科技有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788783U

主分类号：C23C16/511

分类号：C23C16/511;H01J37/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：一种PCVD微波单元串联装置，涉及通信及半导体制造技术领域。其包括多个微波单元和驱动单元，多个微波单元的微波反应腔首尾相连，形成用于供反应管穿设的反应通道，且驱动单元可以用于驱动多个微波单元同步转动，以调节反应通道的角度，本申请提供的PCVD微波单元串联装置，通过将多个微波单元的微波反应腔串连，显著增加了反应通道的总长度，避免将微波单元的微波腔体来回往复运动，提高了反应管的利用率，保证了沉积效果，解决了相关技术中需要将微波单元的微波腔体来回往复运动，导致反应管利用率低、沉积效果差、有效产出不高的问题，且在与驱动单元的配合下，通过调节反应通道的角度，解决了反应通道过长反应管不好穿设及拆卸的问题。

主权项：1.一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于，其包括：多个微波单元1，所述微波单元1包括微波反应腔10，多个所述微波反应腔10首尾相连，以形成用于供反应管3穿设的反应通道；驱动单元2，其与多个所述微波单元1均相连，所述驱动单元2用于驱动多个所述微波单元1同步转动，以调节所述反应通道的角度。

全文数据：

权利要求：

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