申请/专利权人：盛合晶微半导体(江阴)有限公司

申请日：2023-09-21

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796676U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/306

优先权：["20230704 CN 2023217312062"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及一种干法刻蚀设备用便于检修的真空管路，在干式真空泵与工艺腔体之间的真空管路上设置若干法兰及开关阀，将真空管路分割为若干段可拆卸检修的管路；每段可拆卸检修的管路的两端的开关阀外设有支管接头；在两个支管接头上，分别设有支管阀及支管法兰，其中，支管阀靠近真空管路的主管设置，支管法兰远离真空管路的主管设置；在两个支管接头的支管法兰之间设置有可拆卸的检修支管；检修支管的两端设有支管法兰。本实用新型通过设置支管接头和检修支管，从而可将主管的管路逐段拆下来进行清理，从而实现设备不停机，即不影响工艺和机台产能，也有利于减轻设备检修工程师的工作强度，提升工作效率。

主权项：1.一种干法刻蚀设备用便于检修的真空管路，其特征在于，在干式真空泵与工艺腔体之间的真空管路上设置若干法兰及开关阀，将真空管路分割为若干段可拆卸检修的管路；可拆卸检修的管路的两端设有开关阀；每段可拆卸检修的管路的两端的开关阀外设有支管接头；其中，在真空管路上靠近干式真空泵的开关阀的靠近干式真空泵一侧外设置有支管接头；在真空管路上靠近工艺腔体的开关阀的靠近工艺腔体一侧外设置有另一支管接头；在两个支管接头上，分别设有支管阀及支管法兰，其中，支管阀靠近真空管路的主管设置，支管法兰远离真空管路的主管设置；在两个支管接头的支管法兰之间设置有可拆卸的检修支管；检修支管的两端设有支管法兰。

全文数据：

权利要求：

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