申请/专利权人：浙江博开机电科技有限公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220791447U

主分类号：F04B39/10

分类号：F04B39/10;F04B37/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本申请提供了一种超高真空排气阀，属于排气阀领域，包括阀芯、升降螺母、扁口板、盖板、限位块、第一螺钉、第二螺钉、盖板座和密封座；阀芯下端依次穿过密封座和扁口板与升降螺母螺纹连接，限位块卡合于升降螺母内部，第一螺钉穿过限位块与阀芯下端螺纹连接，盖板座焊接于密封座底部，第二螺钉穿过盖板与盖板座螺纹连接，以将升降螺母限位于密封座底部。本方案是在杜瓦低温泵泵壁内外的夹层之间增加了一个开闭的阀门，利用低温泵自身能够获得超高真空的抽气能力，对夹层进行抽气，从而使夹层内获得≤10‑6Pa真空度，可以有效适用于泵壁夹层的空气抽取。

主权项：1.一种超高真空排气阀，其特征在于，包括阀芯1、升降螺母4、扁口板5、盖板6、限位块7、第一螺钉8a、第二螺钉8b、盖板座9和密封座10；阀芯1下端依次穿过密封座10和扁口板5与升降螺母4螺纹连接，限位块7卡合于升降螺母4内部，第一螺钉8a穿过限位块7与阀芯1下端螺纹连接，盖板座9焊接于密封座10底部，第二螺钉8b穿过盖板6与盖板座9螺纹连接，以将升降螺母4限位于密封座10底部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江博开机电科技有限公司 一种超高真空排气阀

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