申请/专利权人：台晶(重庆)电子有限公司

申请日：2021-08-30

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN113654466B

主分类号：G01B11/02

分类号：G01B11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.19#授权;2022.07.12#著录事项变更;2021.12.03#实质审查的生效;2021.11.16#公开

摘要：本发明涉及石英晶体谐振器制造技术领域，具体是一种双层LID检出设备，包括作业台面，所述作业台面的顶部固定有滑轨固定底座，所述滑轨固定底座的一侧设置有拉取托盘前后电机，所述拉取托盘前后电机的一侧设置有升降机构，穿过方形孔在作业台面的底部设置有Z轴组件，所述Y轴电机的顶部设置有激光测量机构，所述激光测量机构包括激光测高仪，所述作业台面的顶部设置有托盘组件，本发明通过X轴电机固定座将X轴电机固定住，通过Y轴电机固定座将Y轴电机固定住，然后启动X轴电机和Y轴电机控制丝杆转动实现XY方向上的运动，通过激光测高仪器进行Package表面高度量测，将量测差值较大的辨识为不良品检出，杜绝不良品流出，从而减少质量风险。

主权项：1.一种双层LID检出设备，其特征在于：包括作业台面27，所述作业台面27的顶部固定有滑轨固定底座16，所述滑轨固定底座16的一侧设置有拉取托盘前后电机17，所述拉取托盘前后电机17的底部设置有滑轨15，所述滑轨15的内壁插接有滑块14，所述拉取托盘前后电机17固定于滑块14的顶部，所述拉取托盘前后电机17的一侧设置有升降机构，所述作业台面27的顶部外壁固定有提篮挡板22，所述提篮挡板22的顶部设置有升降平台21，所述升降平台21的外壁设置有提篮定位片20，所述作业台面27的顶部外壁开设有方形孔，穿过方形孔在作业台面27的底部设置有Z轴组件，所述作业台面27的顶部固定有Y轴电机固定座19，所述Y轴电机固定座19的顶部安装有Y轴电机18，所述Y轴电机18的顶部设置有激光测量机构，所述激光测量机构包括激光测高仪3，所述作业台面27的一侧设置有控制器，所述激光测高仪3与控制器通过电性连接，所述作业台面27的底部设置有支撑脚28，所述作业台面27的顶部设置有托盘组件。

全文数据：

权利要求：

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