申请/专利权人：朗姆研究公司

申请日：2019-07-17

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN112470247B

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20180720 US 16/041,345"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.03.09#公开

摘要：描述了用于在等离子体室内温度的实时控制的系统和方法。该方法中的一者包含实时感测耦合至电压源的轨的电压。电压源供给电压至等离子体室的多个加热器元件。所感测的电压用于调整加热器元件中的对应的一或更多个的一或更多个工作周期。经调整的一或更多个工作周期促进随着时间的推移在等离子体室内实现和维持温度值。

主权项：1.一种用于实现晶片处理系统的等离子体室内的目标温度的方法，所述晶片处理系统包括设置在所述等离子体室内的多个加热器元件和配置成经由轨供给电压至所述多个加热器元件的电压源，所述方法包含：保持所述目标温度与多个工作周期之间的映射信息，所述多个工作周期对应于所述多个加热器元件，其中所述映射信息包含关联于所述电压源的标称电压；接收在所述轨处测量的电压，所述轨将所述电压源耦合至多个开关，所述多个开关耦合至所述多个加热器元件，其中所述轨通过所述多个开关耦合至多路复用器；以及基于所述多个工作周期、所述标称电压和在所述轨处所测量的所述电压中的对应的一或更多者，针对所述多个加热器元件中的对应的一或多个加热器元件产生一或更多个经调整的工作周期。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗姆研究公司 等离子体室中温度的实时控制

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD