申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-11-06

公开（公告）日：2024-05-07

公开（公告）号：CN117990987A

主分类号：G01R27/14

分类号：G01R27/14

优先权：["20221107 KR 10-2022-0147374"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.05.07#公开

摘要：一种测量包括样品电极的样品的电阻的方法，包括在样品的上表面的至少部分区域形成中心电极和边缘电极，通过电源将电流传输到所述样品电极，所述中心电极和边缘电极，通过安培计测量在所述样品电极和所述中心电极之间流动的电流，并且从样品的上表面移除所述中心电极和所述边缘电极。

主权项：1.一种测量包括样品电极的样品的电阻的方法，其特征在于，所述方法包括：在所述样品的上表面上的至少部分区域形成中心电极和边缘电极；通过电源向所述样品电极、所述中心电极和所述边缘电极传输电流；用安培计测量所述样品电极和所述中心电极之间流过的电流；以及从所述样品的所述上表面移除所述中心电极和所述边缘电极。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 电阻测量装置及其电阻测量方法

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