申请/专利权人：扬州续笙新能源科技有限公司

申请日：2019-06-28

公开（公告）日：2020-05-26

公开（公告）号：CN210614504U

主分类号：B08B3/04(20060101)

分类号：B08B3/04(20060101);B08B3/08(20060101);B08B3/10(20060101);B08B3/12(20060101);B08B13/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2022.06.14#未缴年费专利权终止;2020.05.26#授权

摘要：本实用新型公开了硅片清洗领域内的一种金刚线切割硅片降低污片风险装置，包括第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，所述第一鼓泡漂洗槽的上方对应设置有可移动的多晶硅片托架，第五超声漂洗槽的下方设置有蓄水槽，所述蓄水槽上设置有进水口、出水口一和出水口二，所述第六溢流漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第五超声漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第六溢流漂洗槽溢流区经进水管与蓄水槽进水口相连通，出水管一端部与第五超声漂洗槽漂洗区相连通，所述出水管二端部与第一鼓泡漂洗槽内部相连通。本实用新型能够缓解硅料后续漂洗压力。

主权项：1.一种金刚线切割硅片降低污片风险装置，包括从前到后依次排列设置的第一鼓泡漂洗槽、第二药剂漂洗槽、第三药剂漂洗槽、第四药剂漂洗槽、第五超声漂洗槽、第六溢流漂洗槽、第七溢流漂洗槽和第八溢流漂洗槽，所述第一鼓泡漂洗槽的上方对应设置有可移动的多晶硅片托架，其特征在于，第五超声漂洗槽的下方设置有蓄水槽，所述蓄水槽上设置有进水口、出水口一和出水口二，所述第六溢流漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第五超声漂洗槽包括漂洗区和溢流区，所述第六溢流漂洗槽溢流区经进水管与蓄水槽进水口相连通，所述蓄水槽的出水口一和出水口二上分别连接有出水管一和出水管二，出水管一端部与第五超声漂洗槽漂洗区相连通，所述出水管二端部与第一鼓泡漂洗槽内部相连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 扬州续笙新能源科技有限公司 一种金刚线切割硅片降低污片风险装置

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