申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2020-01-13

公开（公告）日：2020-07-24

公开（公告）号：CN111446184A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：["20190117 JP 2019-006304"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本发明提供一种图案形成装置，该装置通过以喷墨方式向布线基板喷出阻焊剂的油墨的液滴，从而，在布线基板上形成阻焊膜92的图案。此时，将布线基板上的导电图案91的边缘附近区域951的每单位面积的油墨的喷出量设定为多于未形成有导电图案91的基材区域953的每单位面积的油墨的喷出量。并且，将导电图案91的区域中远离边缘的图案中央区域952的每单位面积的油墨的喷出量设定为少于基材区域953的每单位面积的油墨的喷出量。由此，在布线基板上形成具有适当厚度的阻焊膜的图案。

主权项：1.一种图案形成装置，通过阻焊剂的油墨在布线基板上形成阻焊膜的图案，其中，所述图案形成装置具有：保持部，保持布线基板；头部，以喷墨方式向所述布线基板喷出阻焊剂的油墨的液滴；移动机构，沿着与所述布线基板平行的方向，相对于所述保持部移动所述头部；控制部，通过控制所述头部和所述移动机构，使所述布线基板上的导电图案的边缘附近区域的每单位面积的油墨的喷出量多于未形成有导电图案的区域的每单位面积的油墨的喷出量，并在所述布线基板上形成阻焊膜的图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 图案形成装置、图案形成方法及喷出数据生成方法

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