申请/专利权人：东芝存储器株式会社

申请日：2019-08-02

公开（公告）日：2020-09-15

公开（公告）号：CN111668082A

主分类号：H01J37/26(20060101)

分类号：H01J37/26(20060101);H01J37/285(20060101);H01J49/16(20060101);G01N27/64(20060101)

优先权：["20190308 JP 2019-042986"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.27#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.15#公开

摘要：实施方式提供一种能够对进行试样的原子分布再构成后所得的图像，修正因试样的局部倍率而产生的失真的原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法。实施方式的原子探针检查装置具备变动部、检测部、特定部、制作部、推定部及再构成部。变动部使从同一位置脱离的离子在由位置敏感型检测器检测所得的位置发生变动。检测部检测位置信息及飞行时间。特定部特定出元素。制作部于在第1条件下检测出的二维位置、及在与第1条件不同的第2条件下检测出的二维位置，根据位置信息及飞行时间制作各再构成图像。推定部根据第1条件及第2条件各自的再构成图像的对应关系，推定与实际位置相关的信息。再构成部基于推定信息，再构成反映出实际原子配置的图像。

主权项：1.一种原子探针检查装置，具备：变动部，使从试样表面的同一位置脱离的离子的、利用位置敏感型检测器的检测面检测出的二维位置发生变动；检测部，对利用所述检测面检测出的离子的二维位置信息、及该离子从所述试样到达该检测面为止的飞行时间进行检测；特定部，根据由所述检测部检测出的所述飞行时间，特定出利用所述检测面检测出的离子的元素；制作部，至少在利用所述检测面在第1条件下检测出的离子的二维位置、及以于与利用该检测面在所述第1条件下检测出的位置不同的位置检测出的方式由所述变动部变动后的在第2条件下检测出的离子的二维位置，根据由该检测部检测出的离子的所述二维位置信息及该离子的所述飞行时间来制作各再构成图像；推定部，基于所述第1条件及所述第2条件各自的所述再构成图像的对应关系，推定与脱离后的离子的所述试样表面的实际位置相关的信息；及再构成部，基于由所述推定部推定出的信息，再构成反映出所述试样表面的实际原子配置的图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东芝存储器株式会社 原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法

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