申请/专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司

申请日：2020-07-15

公开（公告）日：2020-10-16

公开（公告）号：CN111785600A

主分类号：H01J27/14(20060101)

分类号：H01J27/14(20060101);H01J27/02(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.11.03#实质审查的生效;2020.10.16#公开

摘要：本申请涉及一种离子源供气结构及离子源装置，包括：设置在阳极部件周围的气流回路，以及设于所述阳极部件上且与所述气流回路连通的出气口；其中，所述出气口沿所述阳极部件的中部分布；所述气流回路接入外部的工艺气体，将所述工艺气体输送至各个所述出气口，并通过所述出气口从阳极部件中部导出。该技术方案，将工艺气体输送至各个所述出气口并从阳极部件中部导出，使得工艺气体在电离腔中能够得到更加充分的反应，提高了离子源的电离效率，而且避免了工艺气体沉积，减少对磁铁上部的保护器件的腐蚀。

主权项：1.一种离子源供气结构，其特征在于，包括：设置在阳极部件周围的气流回路，以及设于所述阳极部件上且与所述气流回路连通的出气口；其中，所述出气口沿所述阳极部件的中部分布；所述气流回路接入外部的工艺气体，将所述工艺气体输送至各个所述出气口，并通过所述出气口从阳极部件中部导出。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 离子源供气结构及离子源装置

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