申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2020-03-31

公开（公告）日：2020-10-20

公开（公告）号：CN111799148A

主分类号：H01J49/06(20060101)

分类号：H01J49/06(20060101);H01J43/24(20060101)

优先权：["20190401 JP 2019-069962"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.11.23#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：本发明提供一种具有能够应对用于捕获离子的MCP的有效面积的扩大的电子透镜构造的离子检测器。该离子检测器具备：由MCP和第一聚焦电极构成的MCP单元；具有电子检测面的信号输出装置；以及配置于MCP单元和信号输出装置之间的复位单元。复位单元由复位元件和第二聚焦电极构成。复位元件具有互相相对的第二输入面和第二输出面，并且将第二输入面上的电子的入射角的偏差和速度的偏差这两者在第二输出面上复位。

主权项：1.一种离子检测器，其特征在于，具备：MCP单元，其由MCP和第一聚焦电极构成，所述MCP具有以在互相相对的状态下与规定的基准轴交叉的方式配置的第一输入面和第一输出面，并且响应于向所述第一输入面的离子的入射而从所述第一输出面输出电子，所述第一聚焦电极配置于面对所述MCP的所述第一输出面的一侧，并且具有环绕所述基准轴的形状；信号输出装置，其相对于所述第一聚焦电极配置于所述MCP的相反侧，并且具有以与所述基准轴交叉的方式配置的电子检测面；以及复位单元，其配置于所述MCP单元和所述信号输出装置之间，所述复位单元包括：复位元件，其在所述MCP单元和所述信号输出装置之间具有在互相相对的状态下与所述基准轴交叉的第二输入面和第二输出面，并且以所述第二输入面面对所述MCP单元且所述第二输出面面对所述信号输出装置的方式配置，以将所述第二输入面上的所述电子的入射角的偏差和速度的偏差这两者在所述第二输出面上复位的方式构成；以及第二聚焦电极，其配置于所述复位元件和所述信号输出装置之间，并且具有环绕所述基准轴的形状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 离子检测器

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