申请/专利权人：北方夜视技术股份有限公司;北方夜视科技(南京)研究院有限公司

申请日：2023-11-10

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN117612923A

主分类号：H01J43/24

分类号：H01J43/24;H01J9/12;B01L3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开

摘要：本发明提供一种基于流控技术去除MCP挥发性金属来提高MCP增益的方法，该方法在常规微通道板的氢还原工序后，微通道板的功能层已经形成的基础上，增加一个流体控制处理步骤，将氢还原后的微通道板放置于洁净的烘烤炉内，通入氮气一定时间后，将烘烤炉在特定的真空通氮气条件下叠加以一定的升温‑保温‑降温过程，去除微通道板通道内壁发射层的挥发性金属铅、铋。通过本发明的方法，可保证微通道板基本参数及结构不变的条件下，有效提升发射层高二次电子发射系数的成分的占比，提高微通道板二次电子发射能力，进而获得更好的增益性能。

主权项：1.一种基于流控技术去除MCP挥发性金属来提高MCP增益的方法，对经过氢还原处理后的已形成功能层的微通道板进行流控处理，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤S1：将氢还原后的微通道板置于石英篮中，并将石英篮放入洁净烘烤炉腔体中，然后使其保持封闭，抽真空并升温至320±20℃，保温一定时间；步骤S2：向经步骤S1处理后的烘烤炉内通入氮气，一定时间后，抽真空，保持真空状态一定时间，通氮气-抽真空循环数次；步骤S3：将经步骤S2处理后的烘烤炉抽真空并升温至460±20℃，真空保温一段时间后，向腔体内通入氮气一定时间，然后再抽真空，通氮气-抽真空循环数次；步骤S4：将步骤S3处理后的烘烤炉进行降温处理，降温至室温后，取出微通道板开始下一道处理工序。

全文数据：

权利要求：

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