申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2019-04-12

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112189130A

主分类号：G01L9/12(20060101)

分类号：G01L9/12(20060101)

优先权：["20180522 JP 2018-098181","20190304 JP 2019-038510"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2023.02.03#发明专利申请公布后的视为撤回;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：压力检测元件16包括：基板30；第1电极36A和第2电极36B，其设于基板30；隔板32，其包括第1隔膜部32A和第2隔膜部32B，该隔板32与基板30空开间隔地配置；以及间隔构件34，其配置于基板30和隔板32之间，划定第1电极36A与第1隔膜部32A空开间隔地彼此相对的第1空间RA以及第2电极36B与第2隔膜部32B空开间隔地彼此相对的第2空间RB。在沿基板30与隔板32的相对方向观察时，基板30在位于第1隔膜部32A和第2隔膜部32B之间的部分具备沟槽30a。

主权项：1.一种压力检测元件，其中，该压力检测元件包括：基板；第1电极和第2电极，其设于所述基板；隔板，其包括第1隔膜部和第2隔膜部，该隔板与所述基板空开间隔地配置；以及间隔构件，其配置于所述基板和所述隔板之间，划定所述第1电极与所述第1隔膜部空开间隔地彼此相对的第1空间以及所述第2电极与所述第2隔膜部空开间隔地彼此相对的第2空间，在沿所述基板与所述隔板的相对方向观察时，所述基板在位于所述第1隔膜部和所述第2隔膜部之间的部分具备沟槽。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社村田制作所 压力检测元件及压力检测装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD