申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2019-10-30

公开（公告）日：2021-06-08

公开（公告）号：CN112930244A

主分类号：B23K26/53(20060101)

分类号：B23K26/53(20060101);H01L21/301(20060101)

优先权：["20181030 JP 2018-204114","20181214 JP 2018-234816"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.13#授权;2021.06.25#实质审查的生效;2021.06.08#公开

摘要：激光加工装置具备支撑部、照射部及控制部。照射部具有以与激光的光轴垂直的面内的聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形激光的成形部。控制部具有：决定部，其决定沿着线使聚光区域的一部分相对地移动的情况下的长边方向的朝向，以使长边方向与聚光区域的一部分的移动方向交叉；及调整部，其在沿着线使聚光区域的一部分相对地移动的期间，调整长边方向的朝向以成为通过决定部决定的朝向。

主权项：1.一种激光加工装置，其中，是通过对对象物对准聚光区域的一部分并照射激光而在所述对象物形成改质区域的激光加工装置，具备：支撑部，其支撑所述对象物；照射部，其对通过所述支撑部所支撑的所述对象物照射所述激光；及控制部，其控制所述支撑部及所述照射部，所述照射部具有以与所述激光的光轴垂直的面内的所述聚光区域的一部分的形状具有长边方向的方式成形所述激光的成形部，所述控制部具有：决定部，其基于关于所述对象物的对象物信息、及关于沿着在所述对象物的外缘的内侧呈环状延伸的线使所述聚光区域的一部分相对地移动的情况下的所述线的线信息，决定沿着所述线使所述聚光区域的一部分相对地移动的情况下的所述长边方向的朝向，使得所述长边方向与所述聚光区域的一部分的移动方向交叉；及调整部，其在沿着所述线使聚光区域的一部分相对地移动的期间，调整所述长边方向的朝向以成为通过所述决定部决定的朝向。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 激光加工装置及激光加工方法

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