申请/专利权人：株式会社迪思科

申请日：2020-12-16

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113118643A

主分类号：B23K26/38(20140101)

分类号：B23K26/38(20140101);B23K26/02(20140101);B23K26/046(20140101);B23K26/064(20140101);B23K26/08(20140101)

优先权：["20191226 JP 2019-237460"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.16#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供激光加工装置，其能够不使装置尺寸变大而容易地进行调整。激光加工装置包含：能量分布修正单元30、40，其将从激光振荡器22射出的激光束21的Y轴方向的能量分布的高斯分布的下摆部分形成为垂直的分布；成像透镜组23，其由两片以上的透镜构成，使通过能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的光束形状成像在被加工物100的上表面上；以及一片柱面透镜24，其对通过能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的X轴方向的能量密度进行调整。使成像透镜组与柱面透镜之间的距离相对地移动来调整激光束在被加工物的上表面上的光斑形状。

主权项：1.一种激光加工装置，其特征在于，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光束照射单元，其照射对于该卡盘工作台所保持的被加工物具有吸收性的波长的激光束；X轴方向移动单元，其使该卡盘工作台与该激光束照射单元沿作为加工进给方向的X轴方向相对地移动；以及Y轴方向移动单元，其使该卡盘工作台与该激光束照射单元沿作为与加工进给方向垂直的分度进给方向的Y轴方向相对地移动，该激光束照射单元包含：激光振荡器；聚光透镜，其对从该激光振荡器射出的激光束进行聚光；能量分布修正单元，其配设在该激光振荡器与该聚光透镜之间，将从该激光振荡器射出的激光束的Y轴方向的能量分布的高斯分布的下摆部分形成为垂直的分布；成像透镜组，其由两片以上的透镜构成，使通过该能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的光束形状成像在被加工物的上表面上；以及一片柱面透镜，其对通过该能量分布修正单元修正了能量分布的激光束的X轴方向的能量密度进行调整，使该成像透镜组与该柱面透镜之间的距离相对地移动来调整该激光束在被加工物的上表面上的光斑形状。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社迪思科 激光加工装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD