申请/专利权人：苏州天准科技股份有限公司

申请日：2020-10-30

公开（公告）日：2021-11-19

公开（公告）号：CN112289727B

主分类号：H01L21/68(20060101)

分类号：H01L21/68(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.11.19#授权;2021.02.23#实质审查的生效;2021.01.29#公开

摘要：本发明提供一种芯片位置调节机构及芯片传输机构，该位置调节机构包括第一调节模组与第二调节模组，第一调节模组包括第一调节板、第二调节板、第一连接件、第一调节件；通过第一调节件以调节第一调节板与第二调节板在水平方向上的相对位置；第二调节模组包括安装底座、用于支撑与调节的调节组件，通过所述调节组件以调节第二调节板相对于安装底座的姿态。本发明通过第一调节模组与第二调节模组对芯片的位置进行多方位调整，以调节芯片姿态降低AA工艺的对准难度以及对准成本；另外，第一调节模组与第二调节模组对芯片治具起到校准的作用，定期校准提高芯片治具的位置精度。

主权项：1.一种芯片位置调节机构，其特征在于，包括调节机构，所述调节机构包括：第一调节模组，所述第一调节模组包括第一调节板331、第二调节板332、第一连接件336和第一调节件333；用于放置芯片的治具固定安装于所述第一调节板331上；所述第一调节板331与第二调节板332通过所述第一连接件336活动连接，通过所述第一调节件333以调节所述第一调节板331与第二调节板332在水平方向上的相对位置；第二调节模组，所述第二调节模组包括安装底座334、用于支撑与调节的调节组件；所述调节组件安装于所述第二调节板332与安装底座334之间；通过所述调节组件以调节所述第二调节板332相对于所述安装底座334的姿态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州天准科技股份有限公司 芯片位置调节机构及芯片传输机构

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