申请/专利权人：上海大族富创得科技有限公司

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115083986A

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/677;B25J15/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：本发明涉及一种具有Endeffect的SCARA机器人手臂，包括吸盘本体、吸盘座、压缩气管接头、真空气管接头；吸盘座一端固定连接有吸盘本体、吸盘座另一端固定连接有压缩气管接头和真空气管接头；吸盘本体的内部设有压缩流道和真空流道；在吸盘本体上设有多个和压缩流道连通的压缩小孔，在吸盘本体上还设有和真空流道连通的负压小孔；SCARA机器人手臂内部设有压缩气体气管气路，通过压缩气体气管气路和外部设备吹气装置以及负压装置连接；真空压力传感器安装于负压装置和真空气管接头之间的管路上，用于检测所述真空流道内的负压。优点在于：该机器人手臂末端执行机构大大降低了晶圆在搬运中损坏的概率，提高了晶圆搬运的效率。

主权项：1.一种具有Endeffect的SCARA机器人手臂，其特征在于，包括SCARA机器人手臂1、吸盘本体2、吸盘座3、压缩气管接头4、真空气管接头5；所述吸盘座3一端固定连接有所述吸盘本体2、所述吸盘座3另一端固定连接有所述压缩气管接头4和所述真空气管接头5；所述吸盘本体2的内部设有压缩流道21和真空流道22，所述压缩流道21和所述压缩气管接头4连通，所述真空流道22和所述真空气管接头5连通；在所述吸盘本体2上设有多个和所述压缩流道21连通的压缩小孔23，所述压缩小孔23的开口方向和所述吸盘本体2所在的平面平行；在所述吸盘本体2上还设有和所述真空流道22连通的负压小孔24，所述负压小孔24的开口方向和所述压缩小孔23的开口方向垂直；所述吸盘座3固定于所述SCARA机器人手臂1上，所述SCARA机器人手臂1内部设有压缩气体气管气路，通过压缩气体气管气路和外部设备吹气装置11以及负压装置12连接；所述吹气装置11通过压缩气体气管气路和所述压缩气管接头4连通，所述负压装置12通过压缩气体气管气路和所述真空气管接头5连通，真空压力传感器13安装于所述负压装置12和所述真空气管接头5之间的管路上，用于检测所述真空流道22内的负压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大族富创得科技有限公司 一种具有End effect的SCARA机器人手臂

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