申请/专利权人:聚时科技(深圳)有限公司
申请日:2022-12-16
公开(公告)日:2023-01-13
公开(公告)号:CN115597711A
主分类号:G01J3/02
分类号:G01J3/02;G01J3/28
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.03.28#授权;2023.02.07#实质审查的生效;2023.01.13#公开
摘要:本申请提供一种光谱仪及其光路设计方法,涉及光学检测技术领域,包括光源,以及设置在光源出光侧的分光棱镜,在分光棱镜的透射光路设置有色散物镜,光源出射的光束经分光棱镜透射并经过色散物镜出射线性色散光,线性色散光照射被测物形成复合多波长反射光,复合多波长反射光透过色散物镜并经分光棱镜反射;在分光棱镜的反射光路上依次设置有弯曲狭缝器、准直镜组、分光元件、聚焦镜组和相机,弯曲狭缝器上设置有多个通光孔,弯曲狭缝器沿多个通光孔排列方向朝向分光棱镜一侧凸出呈弧形。通过弯曲狭缝器和分光元件残留的畸变像差得到很好的校正,特别使其具有着更小的成像谱线弯曲,提高了轴向测量的精度。
主权项:1.一种光谱仪,其特征在于,包括:光源,以及设置在所述光源出光侧的分光棱镜,在所述分光棱镜的透射光路设置有色散物镜,所述光源出射的光束经所述分光棱镜透射并经过所述色散物镜出射线性色散光,所述线性色散光照射被测物形成复合多波长反射光,所述复合多波长反射光透过所述色散物镜并经所述分光棱镜反射;在所述分光棱镜的反射光路上依次设置有弯曲狭缝器、准直镜组、分光元件、聚焦镜组和相机,所述弯曲狭缝器上设置有多个通光孔,所述弯曲狭缝器沿多个所述通光孔排列方向朝向所述分光棱镜一侧凸出呈弧形。
全文数据:
权利要求:
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