申请/专利权人:哈尔滨工业大学
申请日:2022-06-30
公开(公告)日:2023-01-24
公开(公告)号:CN115638748A
主分类号:G01B11/26
分类号:G01B11/26;G01B11/27
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.24#公开
摘要:用于转台测量回转基准角摆误差的测量装置及补偿方法,它涉及一种测量装置及补偿方法。本发明为了解决精密转台回转轴线不可见,在测量同轴度时通常会将角摆误差耦合的问题。本发明所述测量装置包括超精密转台、CCD接收器、激光发射器、基座和位置调节机构;所述位置调节机构和超精密转台并排安装在基座上,CCD接收器安装在所述位置调节机构上,激光发射器安装在超精密转台上,且激光发射器位于CCD接收器的下方。本发明属于转台角摆误差测量领域。
主权项:1.用于转台测量回转基准角摆误差的测量装置,其特征在于:所述用于转台测量回转基准角摆误差的测量装置包括超精密转台3、CCD接收器4、激光发射器6、基座9和位置调节机构;所述位置调节机构和超精密转台3并排安装在基座9上,CCD接收器4安装在所述位置调节机构上,激光发射器6安装在超精密转台3上,且激光发射器6位于CCD接收器4的下方。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 哈尔滨工业大学 用于转台测量回转基准角摆误差的测量装置及补偿方法
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