申请/专利权人：凌嘉科技股份有限公司

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2023-03-17

公开（公告）号：CN218642821U

主分类号：C23C16/54

分类号：C23C16/54;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权

摘要：一种旋转移载式立式镀膜设备，包含多个真空制程腔、第一旋转腔，及第二旋转腔。所述真空制程腔分别设置于第一轴线及第二轴线上，且能容置及输送所述待镀物。所述第一旋转腔设置于所述第一轴线上，并连接其中一个真空制程腔且可驱动所述待镀物旋转，并可供所述待镀物移入及移出，所述第二旋转腔设置于所述第二轴线上，并连接其中另一个真空制程腔且可驱动所述待镀物旋转，并可供所述待镀物移入及移出。因此可减少设置真空制程腔的数量而减少占用空间且易于利用空间，并达到双面镀膜的功效。

主权项：1.一种旋转移载式立式镀膜设备，适用于直立设置的待镀物，定义第一轴线及第二轴线，所述旋转移载式立式镀膜设备包含多个真空制程腔及旋转装置，其特征在于：所述真空制程腔分别设置于所述第一轴线及所述第二轴线上，且能容置及沿所述第一轴线及所述第二轴线输送所述待镀物，所述旋转装置包括第一旋转腔及第二旋转腔，所述第一旋转腔设置于所述第一轴线上，并具有位于所述第一轴线且连接其中一个真空制程腔的第一后开口、位于所述第一轴线与所述第二轴线之间的第一侧开口，及能容置且能驱动所述待镀物旋转并具有第一头端及第一尾端的第一旋转单元，所述第一旋转单元能以所述第一头端朝向所述第一后开口、以所述第一尾端朝向所述第一后开口，及以所述第一头端及所述第一尾端的其中一个朝向所述第一侧开口，所述待镀物能自所述第一旋转单元的第一头端或第一尾端移入及移出，所述第二旋转腔设置于所述第二轴线上，并具有位于所述第二轴线且连接其中另一个真空制程腔的第二后开口、位于所述第一轴线与所述第二轴线之间且对应所述第一旋转腔的第二侧开口，及能容置且能驱动所述待镀物旋转并具有第二头端及第二尾端的第二旋转单元，所述第二旋转单元能以所述第二头端朝向所述第二后开口、以所述第二尾端朝向所述第二后开口，及以所述第二头端及所述第二尾端的其中一个朝向所述第二侧开口，所述待镀物能自所述第二旋转单元的第二头端或第二尾端移入及移出。

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权利要求：

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