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【发明公布】镀膜设备_业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司_202310211036.3 

申请/专利权人:业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司

申请日:2023-03-07

公开(公告)日:2023-05-26

公开(公告)号:CN116162930A

主分类号:C23C26/00

分类号:C23C26/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.06.13#实质审查的生效;2023.05.26#公开

摘要:本申请涉及一种镀膜设备。镀膜设备包括设备主体、调节组件以及安装部件,调节组件设于所述设备主体上,安装部件设于所述调节组件,且用于固定待镀膜产品。所述调节组件被配置为能够驱使所述安装部件沿第一方向移动,所述第一方向平行于所述安装部件的厚度方向。本申请的镀膜设备能够根据待镀膜产品的厚度等参数调节镀膜间距和镀膜倾角,适用性更广。

主权项:1.一种镀膜设备,其特征在于,包括:设备主体;调节组件,设于所述设备主体上;安装部件,设于所述调节组件,且用于固定待镀膜产品;所述调节组件被配置为能够驱使所述安装部件沿第一方向移动,所述第一方向平行于所述安装部件的厚度方向。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司 镀膜设备

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