申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司

申请日：2021-11-09

公开（公告）日：2023-08-15

公开（公告）号：CN116601575A

主分类号：G05B19/418

分类号：G05B19/418

优先权：["20201110 US 63/112,028"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.09.01#实质审查的生效;2023.08.15#公开

摘要：一种计算机装置经编程以：从与待分析的工具相关联的一或多个传感器接收多个实时数据集；校准所述多个实时数据集；产生用于所述多个实时数据集中的每一实时数据集的时间滑动窗口；产生随机概率分布曲线；比较所述随机概率分布曲线与每一时间滑动窗口以确定所述时间滑动窗口是否包含异常数据；以及基于所述比较产生预测结果。

主权项：1.一种计算机装置，其包括与至少一个存储器装置通信的至少一个处理器，其中所述至少一个处理器经编程以：从与待分析的工具相关联的一或多个传感器接收多个实时数据集；校准所述多个实时数据集；产生用于所述多个实时数据集中的每一实时数据集的时间滑动窗口；产生随机概率分布曲线；比较所述随机概率分布曲线与每一时间滑动窗口以确定所述时间滑动窗口是否包含异常数据；以及基于所述比较产生预测结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 环球晶圆股份有限公司 使用阶层式预测及复合阈值增强机器学习的系统及方法

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