申请/专利权人：相干激光系统有限公司

申请日：2021-11-03

公开（公告）日：2023-09-22

公开（公告）号：CN116802547A

主分类号：G02B27/10

分类号：G02B27/10

优先权：["20201123 US 17/102,201"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.08#实质审查的生效;2023.09.22#公开

摘要：用于校正激光束180的波前182的系统包括：分束器120，用于分离激光束180的部分以用作诊断光束180D；聚焦元件140，用于将诊断光束180D聚到焦点；测量子系统150，用于测量诊断光束180D在相对于焦点的标称位置的上游和或下游位置的尺寸；以及至少一个自适应光学器件110，位于分束器120的上游，用于至少部分地基于诊断光束180D在上游和或下游位置的测量尺寸来校正激光束180的波前182。上游位置1521和下游位置1522对应于由聚焦元件140成像的激光束180中的中场位置。该系统利用了激光束尺寸对束腰位置偏移的敏感性在距标称束腰位置一个瑞利长度处最大。

主权项：1.用于校正激光束的波前的系统，包括：主分束器，所述主分束器用于分离所述激光束的部分以用作诊断光束，所述激光束在标称束腰位置处具有束腰；聚焦元件，所述聚焦元件用于使所述诊断光束聚到焦点；测量子系统，所述测量子系统配置成测量所述诊断光束在相对于所述诊断光束的所述焦点的标称位置的上游位置和下游位置中的至少一个处的尺寸，其中所述诊断光束的所述上游位置和下游位置中的每一个对应于所述激光束的相应中场位置的图像；以及至少一个自适应光学器件，所述至少一个自适应光学器件位于激光束中且在所述主分束器的上游，用于至少部分地基于所述诊断光束的针对所述上游位置和下游位置中的所述至少一个测量的尺寸来校正所述激光束的波前。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 相干激光系统有限公司 利用自适应光学器件和中场监测的激光束波前校正

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