申请/专利权人:新疆协鑫新能源材料科技有限公司
申请日:2023-06-21
公开(公告)日:2023-10-31
公开(公告)号:CN116969467A
主分类号:C01B33/035
分类号:C01B33/035
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2023.11.17#实质审查的生效;2023.10.31#公开
摘要:本发明公开了一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺,包括盐酸解析单元、冷氢化单元、渣浆单元、精馏单元、还原单元以及制氢单元;所述的盐酸解析单元用于制备高纯氯化氢气体,并送入冷氢化单元与硅粉反应,生成粗品三氯氢硅、氢气和渣浆料;粗品三氯氢硅送入精馏单元除杂,然后与制氢单元过来的氢气一同送入还原单元,在硅芯进行气相沉积反应,得到多晶硅硅棒产品;渣浆料送入渣浆单元进一步处理。本发明通过盐酸深解析装置为系统补充氯元素和氢元素,较外购三氯氢硅和电解水制氢相比,生产成本显著降低。在冷氢化流化床进口通入氯化氢气体,在流化床内与硅粉反应制备三氯氢硅,该反应过程可利用现有的冷氢化装置,无需新增反应器。
主权项:1.一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺,其特征在于,包括盐酸解析单元、冷氢化单元、渣浆单元、精馏单元、还原单元以及制氢单元;所述的盐酸解析单元用于制备高纯氯化氢气体,并送入所述冷氢化单元与硅粉反应,生成粗品三氯氢硅、氢气和渣浆料;所述粗品三氯氢硅送入所述精馏单元除杂,然后与所述制氢单元过来的氢气一同送入所述还原单元,在硅芯进行气相沉积反应,得到多晶硅硅棒产品;渣浆料送入所述渣浆单元进一步处理。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 一种新型改良西门子法多晶硅生产工艺
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