申请/专利权人：湖南麓星光电科技有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2023-12-19

公开（公告）号：CN117248178A

主分类号：C23C14/10

分类号：C23C14/10;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/54

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.05#实质审查的生效;2023.12.19#公开

摘要：本发明提供一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法，其中，实时监测镜片面形的镀膜装置包括机壳，机壳内设有用于放置镀膜基片的工件盘，工件盘上均匀放置有镀膜基片以及陪镀片，还包括光透组件、光探测设备、轰击组件、数据采集分析设备和修正板，光透组件包括激光发射器、准直透镜、分光镜和平晶。从而，在镀膜过程中通过对陪镀片上产生的干涉光信息实现实时监测镀膜后的镜片膜层的光学均匀性、表面平整度的参数。同时，依据数据采集分析设备获取到的镜片膜层光学均匀性、表面平整度的参数在镀膜过程中对修正板进行目标位置的调节及调节轰击组件的沉积速率，在镀膜过程中及时做出相应调整，使镀膜后的镜片膜层表面均匀平整。

主权项：1.一种实时监测镜片面形的镀膜装置，包括机壳，所述机壳内设置有用于放置镀膜基片的工件盘，所述工件盘上均匀放置有所述镀膜基片以及将任一所述镀膜基片作为监测的陪镀片，其特征在于，还包括：光透组件，与所述陪镀片光信号连接；光探测设备，设置在所述机壳的透明窗口上，并且与所述光透单元光信号连接；轰击组件，设置在所述机壳内；数据采集分析设备，设置在所述机壳的外部，并且同时与所述光探测设备以及所述轰击组件通信连接；修正板，穿过所述机壳并且与所述机壳相连接；其中，所述光透组件包括：激光发射器，设置在所述机壳内；准直透镜，设置在所述机壳内，并且与所述激光发射器光信号连接；分光镜，设置在所述机壳内，并且与所述准直透镜光信号连接；平晶，设置在所述机壳内，并且分别与所述分光镜以及所述陪镀片光信号连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南麓星光电科技有限公司 一种实时监测镜片面形的镀膜装置及镀膜方法

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