申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2023-09-27

公开（公告）日：2023-12-22

公开（公告）号：CN117265488A

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;B22F5/00;B22F3/14;B22F3/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开

摘要：本发明提供了一种粉末冶金CrSi靶材及其制备方法，所述粉末冶金CrSi靶材的化学成分质量百分比包括：Cr为40～60wt％，Si为40～60wt％。所述制备方法包括如下步骤：1保护气氛下，按配方量混合Cr粉和Si粉，装模压实后进行预压，得到混合粉末；2对步骤1所得混合粉末进行真空热压烧结，得到靶材坯料；3对步骤2所得靶材坯料进行冷却以及后加工，得到所述粉末冶金CrSi靶材。本发明提供的粉末冶金CrSi靶材致密度达到97％～99％，微观组织均匀，靶材加工性能优异，溅射过程表现良好稳定，可满足使用要求。

主权项：1.一种粉末冶金CrSi靶材，其特征在于，所述粉末冶金CrSi靶材的化学成分质量百分比包括：Cr为40～60wt％，Si为40～60wt％。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种粉末冶金CrSi靶材及其制备方法

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