申请/专利权人：无锡华润微电子有限公司

申请日：2022-06-23

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN117316258A

主分类号：G11C29/56

分类号：G11C29/56;G11C29/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开

摘要：本申请提供了一种铁电电容器的印记效应的测试方法。该方法包括：在第一预定温度下，向待测铁电电容器施加变化的电场，检测出第一极化强度和第二极化强度；将待测铁电电容器在大于第一预定温度的第二预定温度下烘烤预定时长，得到烘烤后的待测铁电电容器；在第一预定温度下，向烘烤后的待测铁电电容器施加变化的电场，并检测得到第三极化强度和第四极化强度；根据第一极化强度、第二极化强度、第三极化强度和第四极化强度计算剩余极化强度的变化率，剩余极化强度的变化率用于表征烘烤后的待测铁电电容器的发生印记效应的程度。该方法实现了对印记效应的定量分析，进而解决了现有技术中难以定量分析印记效应的问题。

主权项：1.一种铁电电容器的印记效应的测试方法，其特征在于，包括：在第一预定温度下，向待测铁电电容器施加变化的电场，并检测第一时刻的极化强度和第二时刻的极化强度，得到第一极化强度和第二极化强度，所述第一时刻为所述电场从正向最小值增加至正向最大值后再减小至0的时刻，所述第二时刻为所述电场从负向最小值增大至负向最大值后再减小至0的时刻，所述正向最小值大于或者等于0，所述负向最小值大于或者等于0；将所述待测铁电电容器在第二预定温度下烘烤预定时长，得到烘烤后的所述待测铁电电容器，所述第二预定温度大于所述第一预定温度；在所述第一预定温度下，向烘烤后的所述待测铁电电容器施加变化的所述电场，并检测所述第一时刻的极化强度和所述第二时刻的极化强度，得到第三极化强度和第四极化强度；根据所述第一极化强度、所述第二极化强度、所述第三极化强度和所述第四极化强度计算剩余极化强度的变化率，所述剩余极化强度的变化率用于表征烘烤后的所述待测铁电电容器的发生印记效应的程度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡华润微电子有限公司 铁电电容器的印记效应的测试方法

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