申请/专利权人：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司

申请日：2022-07-26

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN115159122B

主分类号：B65G51/03

分类号：B65G51/03;B65G43/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.26#授权;2022.10.28#实质审查的生效;2022.10.11#公开

摘要：本发明提供了一种气悬浮芯片晶圆滑道机构，包括气悬浮滑道机构，气悬浮滑道机构的两侧设有非接触挡条机构，气悬浮滑道机构的一端两侧设有非接触扩口机构，气悬浮滑道机构的底面一端设有前感应机构，气悬浮滑道机构的底面另一端设有后感应机构，该发明通过气悬浮滑道机构、非接触挡条机构和非接触扩口机构配合，将晶圆移载由接触式改为非接触式，有效降低废片率，提高生产效率和合格率，从而减少生产成本的流失。

主权项：1.一种气悬浮芯片晶圆滑道机构，其特征在于：包括气悬浮滑道机构（1），所述气悬浮滑道机构（1）的两侧设有非接触挡条机构（2），所述气悬浮滑道机构（1）的一端两侧设有非接触扩口机构（3），所述气悬浮滑道机构（1）的底面一端设有前感应机构（4），所述气悬浮滑道机构（1）的底面另一端设有后感应机构（5）；所述气悬浮滑道机构（1）包括气悬浮面层（11），所述气悬浮面层（11）的底面中部设有气悬浮集气盒（12），所述气悬浮集气盒（12）的底面中部通过多个软管连接第一气源（13）；所述气悬浮面层（11）的中部开设有多个气悬浮出气孔（111），多个所述气悬浮出气孔（111）呈倾斜设置，其出气方向指向所述非接触扩口机构（3）的反方向；所述非接触挡条机构（2）包括多个非接触挡条本体（21），多个所述非接触挡条本体（21）对称设于所述气悬浮滑道机构（1）的顶面两侧，多个所述非接触挡条本体（21）的一侧分别通过多个软管连接电磁调节阀（22），多个所述电磁调节阀（22）分别通过软管连接第二气源（23）；所述非接触挡条本体（21）朝向所述气悬浮滑道机构（1）的一侧呈倾斜45°设置，所述非接触挡条本体（21）的中部开设有挡条集气槽（211），所述挡条集气槽（211）的一侧开设有多个挡条出气口（212），多个所述挡条出气口（212）均呈倾斜设置，其出气方向指向所述非接触扩口机构（3）的反方向，所述挡条集气槽（211）的另一侧设有多个挡条气嘴（213），多个所述挡条气嘴（213）分别通过软管连接其中一个所述电磁调节阀（22）；所述非接触扩口机构（3）包括多个非接触扩口本体（31），多个所述非接触扩口本体（31）对称设于所述气悬浮滑道机构（1）的顶面一端两侧，多个所述非接触扩口本体（31）的一侧分别通过软管连接第三气源（32）；所述非接触扩口本体（31）朝向所述气悬浮滑道机构（1）中部的一侧呈倾斜45°设置，所述非接触扩口本体（31）的中部开设有扩口集气槽（311），所述扩口集气槽（311）的一侧开设有多个扩口出气口（312），所述扩口集气槽（311）的另一侧设有扩口气嘴（313），所述扩口气嘴（313）通过软管连接所述第三气源（32）；所述后感应机构（5）包括后感应支架（51），所述后感应支架（51）的两端分别设于所述气悬浮滑道机构（1）的底面另一端两侧，所述后感应支架（51）的中部设有下料传感器（52），所述下料传感器（52）的两侧分别设有挡板调节传感器（53），多个所述挡板调节传感器（53）分别电性连接所述电磁调节阀（22）；通过上料红外传感器（42）感知晶圆进入滑道，从而启动多个气源；通过下料传感器（52）感知晶圆顺着滑道滑动到设定位置，从而启动后续工艺设备，并延时关闭多个气源，通过多个挡板调节传感器（53），感知晶圆在滑动过程中向哪一边挡板靠近，对应的挡板调节传感器（53）发出信号，控制对应的电磁调节阀（22）将对应的非接触挡条本体（21）的输出气流强度提高，从而修正晶圆在滑道内的位置，避免晶圆与挡块发生磕碰。

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