申请/专利权人:琥崧智能装备(太仓)有限公司
申请日:2023-12-29
公开(公告)日:2024-02-02
公开(公告)号:CN117488281A
主分类号:C23C16/46
分类号:C23C16/46
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开
摘要:本发明公开了一种化学气相淀积薄膜制备装置,其特征在于,包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管、进气组件和抽气组件;所述石英管穿设在所述第一通孔内;所述进气组件和抽气组件分别和所述石英管的两端相连接。本发明所公开的化学气相淀积薄膜制备装置,体积小,结构简单且制造成本低,便于小规模的生产,同时也能降低企业的成本。
主权项:1.一种化学气相淀积薄膜制备装置,其特征在于,包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管(10)、进气组件(3)和抽气组件(6);所述石英管(10)穿设在所述第一通孔内;所述进气组件(3)和抽气组件(6)分别和所述石英管(10)的两端相连接;所述加热组件包括第一板体(5)和第二板体(1);所述第二板体(1)设置在所述第一板体(5)的顶部;所述第一板体(5)的顶部表面开设有贯穿其长度方向的第一凹槽(503);所述第二板体(1)底部表面开设有贯穿其长度方向的第二凹槽(104);所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)结构相同;所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)的横截面均为半圆形;所述第一凹槽(503)和第二凹槽(104)围合成所述第一通孔。
全文数据:
权利要求:
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