申请/专利权人：琥崧智能装备(太仓)有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117488281B

主分类号：C23C16/46

分类号：C23C16/46

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2024.02.23#实质审查的生效;2024.02.02#公开

摘要：本发明公开了一种化学气相淀积薄膜制备装置，其特征在于，包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管、进气组件和抽气组件；所述石英管穿设在所述第一通孔内；所述进气组件和抽气组件分别和所述石英管的两端相连接。本发明所公开的化学气相淀积薄膜制备装置，体积小，结构简单且制造成本低，便于小规模的生产，同时也能降低企业的成本。

主权项：1.一种化学气相淀积薄膜制备装置，其特征在于，包括设有第一通孔的加热组件、两端开口的石英管（10）、进气组件（3）和抽气组件（6）；所述石英管（10）穿设在所述第一通孔内；所述进气组件（3）和抽气组件（6）分别和所述石英管（10）的两端相连接；所述加热组件包括第一板体（5）和第二板体（1）；所述第二板体（1）设置在所述第一板体（5）的顶部；所述第一板体（5）的顶部表面开设有贯穿其长度方向的第一凹槽（503）；所述第二板体（1）底部表面开设有贯穿其长度方向的第二凹槽（104）；所述第一凹槽（503）和第二凹槽（104）结构相同；所述第一凹槽（503）和第二凹槽（104）的横截面均为半圆形；所述第一凹槽（503）和第二凹槽（104）围合成所述第一通孔；所述加热组件还包括加热线圈（11）；所述第一板体（5）的顶部还开设有第三凹槽（502）；所述第二板体（1）的底部还开设有第四凹槽（103）；所述加热线圈（11）套接在所述石英管（10）上；所述加热线圈（11）设置在所述第三凹槽（502）和第四凹槽（103）围合的空腔内；所述第四凹槽（103）的底部还设有第二通孔（101）；所述加热线圈（11）的末端穿出所述第二通孔（101）；所述加热组件还包括保温仓（9）；所述保温仓（9）包括上仓体（904）和下仓体（902）；所述下仓体（902）装配在所述第三凹槽（502）内；所述上仓体（904）装配在所述第四凹槽（103）内；所述上仓体（904）和下仓体（902）的两侧壁均开设有同轴设置的第五凹槽（901）；所述石英管（10）贯穿所述保温仓（9）；所述加热线圈（11）设置在所述保温仓（9）内。

全文数据：

权利要求：

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