申请/专利权人:株式会社德山
申请日:2021-08-26
公开(公告)日:2024-02-02
公开(公告)号:CN115989192B
主分类号:C01B33/037
分类号:C01B33/037
优先权:["20200827 JP 2020-143619"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.02.02#授权;2023.05.05#实质审查的生效;2023.04.18#公开
摘要:本发明的目的在于,提供一种不仅表面的铜浓度低,铁和锌这两者表面浓度也低的多晶硅破碎块。本发明的多晶硅破碎块的特征在于,表面金属浓度为15.0pptw以下,该表面金属浓度中,铜浓度为0.30pptw以下,进一步,该表面金属浓度中,铁和锌的合计浓度为2.00pptw以下,优选的是,铁浓度为1.25pptw以下,锌浓度为0.75pptw以下。
主权项:1.一种多晶硅破碎块,其特征在于,表面金属浓度为15.0pptw以下,该表面金属浓度中,铜浓度为0.30pptw以下,进一步,该表面金属浓度中,铁和锌的合计浓度为2.00pptw以下。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社德山 多晶硅破碎块及其制造方法
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