申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2023-07-07

公开（公告）日：2024-02-06

公开（公告）号：CN220450287U

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.06#授权

摘要：本实用新型公开了一种热丝装置及HWCVD设备，热丝装置包括盖板和热丝馈入单元，盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔，热丝馈入单元包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，连接组件连接在盖板下方，热丝组件连接在连接组件上，热丝组件包括相互串联的多个热丝，两个真空电极分别穿设于第一安装孔和第二安装孔，两个真空电极分别电性连接热丝组件的两端。HWCVD设备包括热丝装置和腔体，盖板盖于腔体上，盖板与腔体合围空间形成镀膜腔，连接组件、热丝组件位于镀膜腔内，真空电极的一端伸入镀膜腔内。本实用新型可以节省成本，可以减少热量传递到盖板，可以减少漏电风险，可以减少盖板变形风险。

主权项：1.一种热丝装置，其特征在于，包括：盖板，所述盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔；热丝馈入单元，包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，所述连接组件连接在所述盖板下方，所述热丝组件连接在所述连接组件上，所述热丝组件包括相互串联的多个热丝，两个所述真空电极分别穿设于所述第一安装孔和第二安装孔，两个所述真空电极分别电性连接所述热丝组件的两端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 热丝装置及HWCVD设备

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