申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请日：2023-06-21

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN220665441U

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权

摘要：本实用新型公开了一种HWCVD设备，HWCVD设备，包括：腔盖，腔盖的内部形成有均气腔，且腔盖的顶部设有与均气腔连通的进气口，腔盖的底部设有与均气腔连通的多个布气孔；以及热丝模块，热丝模块包括连接单元以及热丝单元，连接单元固定在腔盖的底部、并与热丝单元连接，热丝单元位于腔盖的下方。本实用新型的HWCVD设备中，腔盖可以实现均气和布气的效果，因此，本实用新型的HWCVD设备可以取消在腔体内部设置布气模块，避免了在腔体内部设置布气模块的不便。

主权项：1.一种HWCVD设备，其特征在于，包括：腔盖，所述腔盖的内部形成有均气腔，且所述腔盖的顶部设有与所述均气腔连通的进气口，所述腔盖的底部设有与所述均气腔连通的多个布气孔；以及热丝模块，所述热丝模块包括连接单元以及热丝单元，所述连接单元固定在所述腔盖的底部、并与所述热丝单元连接，所述热丝单元位于所述腔盖的下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 HWCVD设备

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