申请/专利权人：眉山琏升光伏科技有限公司

申请日：2023-10-13

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN117552000A

主分类号：C23C26/00

分类号：C23C26/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.01#实质审查的生效;2024.02.13#公开

摘要：本发明公开了一种适用HJT电池镀膜返工片的返工方法，采用如下工艺流程酸洗1、水洗1、酸洗2、水洗2、臭氧清洗、水洗3、慢提拉和烘干；所述酸洗1中采用的酸为HF和HCL；所述酸洗2中采用的酸为HF和HCL；所述臭氧清洗采用HF和HCL与O3混合。与传统的返工片清洗流程相比，本发明在一次高浓度酸洗的条件下新增一次酸洗，同时在臭氧槽里加入低浓度的盐酸，保证了返工片表面的洁净度，相比于一个酸槽清洗工艺，工艺节拍时间缩短50％以上，提升产能90％以上，其次串联的低高浓度酸洗工艺保证了清洗的稳定性，ITO完全去除能力从92％提升至98％以上，大大提高了清洗的良率。

主权项：1.一种适用HJT电池镀膜返工片的返工方法，其特征在于，包括如下工艺流程：酸洗1、水洗1、酸洗2、水洗2、臭氧清洗、水洗3、慢提拉和烘干；所述酸洗1中采用的酸为HF和HCL；所述酸洗2中采用的酸为HF和HCL；所述臭氧清洗采用HF和HCL与O3混合。

全文数据：

权利要求：

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