申请/专利权人：TCL科技集团股份有限公司

申请日：2022-08-18

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117630615A

主分类号：G01R31/26

分类号：G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.01#公开

摘要：本申请公开了一种载流子迁移率的测量装置和测量方法，测量装置包括基板、第一电极、第二电极、激光源以及采集电路结构。所述基板的一表面上具有供待测薄膜平铺的工作区域，第一电极和第二电极设于所述基板上，且所述第一电极和所述第二电极在所述工作区域的两侧呈相对设置。本申请提供的技术方案，很薄的待测薄膜也能实现较长的迁移距离，大大提高了测量准确性；同时，基于本申请方案，很薄的待测薄膜即可实现较长的迁移距离，不仅节省了大量材料，而且简化了薄膜制备过程，提高了测量效率。

主权项：1.一种载流子迁移率的测量装置，其特征在于，包括：基板，所述基板的一表面上具有供待测薄膜平铺的工作区域；第一电极和第二电极，设于所述基板上，且所述第一电极和所述第二电极在所述工作区域的两侧呈相对设置；激光源，用于向所述第一电极背离所述第二电极的一侧发射脉冲激光，所述脉冲激光透过所述第一电极后入射至所述待测薄膜并激发所述待测薄膜产生载流子；以及，采集电路结构，所述采集电路结构的两端分别与所述第一电极和所述第二电极电性连接，用于对所述待测薄膜施加电压以驱使所述载流子迁移形成瞬态电流，并采集所述瞬态电流的电流信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： TCL科技集团股份有限公司 载流子迁移率的测量装置和测量方法

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