申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN117630067A

主分类号：G01N23/2202

分类号：G01N23/2202;G01N23/2273;G01Q30/20;G01Q60/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开

摘要：本发明涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种基于金属衬底的JanusMoSSe制备方法以及通过该方法制得的金属衬底上的JanusMoSSe；制备方法包括：制备Ti‑Au金属衬底；在所述Ti‑Au金属衬底上获得单层MoS2，得到初始样品；将所述初始样品与硒粉，在氢气氛围下，进行等离子体反应，完成在金属衬底上制备JanusMoSSe；本发明的制备方法首次在金属衬底上实现大面积单层JanusTMDs的制备，能够满足如APERS及STM等需要导电衬底才能进行测试的设备的实验需求，为进一步在实验上探索JanusTMDs的本征物性做好样品准备。

主权项：1.一种基于金属衬底的JanusMoSSe制备方法，其特征在于，所述基于金属衬底的JanusMoSSe制备方法包括步骤：S1.制备Ti-Au金属衬底；S2.在所述Ti-Au金属衬底上获得单层MoS2，得到初始样品；S3.将所述初始样品与硒粉，在氢气氛围下，进行等离子体反应，完成在金属衬底上制备JanusMoSSe。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于金属衬底的Janus MoSSe制备方法及Janus MoSSe

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