申请/专利权人：长园半导体设备(珠海)有限公司

申请日：2022-11-29

公开（公告）日：2024-03-12

公开（公告）号：CN115744215B

主分类号：B65G47/74

分类号：B65G47/74;B65G47/82;B65G60/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.12#授权;2023.03.24#实质审查的生效;2023.03.07#公开

摘要：本发明公开了一种tray盘自动上下料装置，包括机座、上料组件、放料组件、缓存组件、三个升降组件和推料组件。在作业设备对tray盘进行加工作业的同时，载料台在第一工位和第四工位之间的往复移动，有效提高tray盘上、下料工序间的过渡速度，提高上下料装置的换tray盘效率，此外，设置集成于机座的升降台和载料台升降传输tray盘，可以简化上下料装置的结构，缩小上下料装置的整体体积，方便用户将上下料装置集成到整个芯片加工的流水线中。

主权项：1.一种tray盘自动上下料装置，其特征在于，包括：机座，沿第一方向依次排列设置有第一工位、第二工位、第三工位和第四工位；上料组件，安装于所述第一工位，所述上料组件包括两个沿第一方向间隔设置的第一支撑件，两个所述第一支撑件分别连接有第一驱动件，所述第一驱动件安装于机座，两个所述第一驱动件用于驱动两个所述第一支撑件相向或背向移动；放料组件，安装于所述第二工位，所述放料组件包括两个沿第一方向间隔设置的第二支撑件，两个所述第二支撑件分别连接有第二驱动件，所述第二驱动件安装于机座，两个所述第二驱动件用于驱动两个所述第二支撑件相向或背向移动；缓存组件，安装于所述第三工位，所述缓存组件包括两个沿第二方向间隔设置的支撑板，两个所述支撑板分别连接有第三驱动件，所述第三驱动件安装于机座，两个所述第三驱动件用于驱动两个所述支撑板相向移动以存放在所述第四工位处存料或取料后的工件，或驱动两个所述支撑板背向移动以释放在所述第四工位处存料或取料后的工件；三个升降组件，三个所述升降组件分别位于所述上料组件、所述放料组件和所述第四工位下方，所述升降组件包括升降台，所述升降台连接有第四驱动件，所述第四驱动件安装于机座，所述第四驱动件用于驱动所述升降台沿竖直方向移动；移料组件，所述移料组件包括载料台，所述载料台位于所述第一工位和所述升降台之间，所述载料台设有供所述升降台穿过的送料间隙，所述机座安装有丝杆驱动件，所述丝杆驱动件的输出端和所述载料台连接以驱使所述载料台沿第一方向往复移动；推料组件，安装于所述第四工位，所述推料组件用于驱使工件从所述第四工位的所述升降台移动至所述两个所述支撑板之间。

全文数据：

权利要求：

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