申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2023-12-14

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117706113A

主分类号：G01P15/09

分类号：G01P15/09

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：本发明公开了一种基于兰姆波TPoS谐振器的三轴加速度计，属于微机电系统技术领域，包括形状为长方体的质量块，以及四个对称设置于质量块上表面侧方的悬臂梁结构；质量块包括衬底硅层和第一掺杂硅层；悬臂梁结构采用TPoS结构，包括第二掺杂硅层、压电薄膜和叉指换能器；悬臂梁结构的首端分别与质量块上表面的对应棱边相连，末端固定在外围支撑结构上；叉指换能器设置在悬臂梁结构的末端；叉指换能器与其下方的压电薄膜共同构成兰姆波谐振器。本发明利用四个TPoS结构的兰姆波谐振器实现三个方向的运动加速度检测，对悬臂梁结构的厚度不敏感，有助于提升灵敏度，加工制备工艺与CMOS工艺兼容，利于微型化和集成化。

主权项：1.一种基于兰姆波TPoS谐振器的三轴加速度计，其特征在于，包括形状为长方体的质量块，以及四个对称设置于质量块上表面侧方的悬臂梁结构；所述质量块包括自下而上的衬底硅层和第一掺杂硅层；所述悬臂梁结构采用TPoS结构，包括自下而上的第二掺杂硅层、压电薄膜和叉指换能器；其中，悬臂梁结构的首端分别与质量块上表面的对应棱边相连，末端固定在外围支撑结构上；叉指换能器设置在悬臂梁结构的末端；叉指换能器与其下方的压电薄膜共同构成兰姆波谐振器，共计四个兰姆波谐振器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种基于兰姆波TPoS谐振器的三轴加速度计

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