申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-05

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117707461A

主分类号：G06F3/147

分类号：G06F3/147;H01L21/67

优先权：["20220915 JP 2022-147004"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.15#公开

摘要：本发明涉及一种基板处理系统及用于该系统的GUI装置，即使在复杂且大型的系统中也能够容易理解地显示基板处理系统的各部分的状态。本发明所涉及的GUI装置是用于具有多个暂时接受基板的接受部的基板处理系统的GUI装置，具备：信息获取部，获取各个接受部的状态信息；图像处理部，输出反映了所获取的状态信息的显示图像；以及显示部，显示显示图像。图像处理部向显示部输出显示图像，该显示图像是在将与各个接受部对应的对象配置于与从一个视点俯瞰的基板处理系统内的配置对应的位置的系统全景图中，针对至少一个对象附加了基于状态信息的视觉信息的显示图像。

主权项：1.一种图形用户界面装置，用于基板处理系统，该基板处理系统具有多个暂时接受基板的接受部，其中，该图形用户界面装置具备：信息获取部，获取各个所述接受部的状态信息；图像处理部，输出反映了所获取的所述状态信息的显示图像；以及显示部，显示所述显示图像，所述图像处理部向所述显示部输出以下的图像作为所述显示图像：在将与各个所述接受部对应的对象配置于与从一个视点俯瞰的所述基板处理系统内的配置对应的位置的系统全景图中，针对至少一个所述对象附加了基于所述状态信息的视觉信息的图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 GUI装置以及基板处理系统

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