申请/专利权人：东京毅力科创美国制造与工程公司

申请日：2022-07-20

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117716230A

主分类号：G01N21/956

分类号：G01N21/956;G01N21/88;G01N21/95

优先权：["20210721 US 17/381,743"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.15#公开

摘要：一种用于扫描衬底的方法包括：将衬底固定在加工室内的衬底固持器上；以及通过同步驱动第一旋转驱动器和第二旋转驱动器以使衬底相对于聚焦于衬底上的局部斑点上的加工设备运动来执行平行光栅图案的第一道次，第一旋转驱动器联接到摆臂的近端，并且第二旋转驱动器安装在摆臂的远端处并安装到衬底固持器。在该道次期间驱动第一旋转驱动器包括：在局部斑点位于衬底上时对于道次的第一部分使摆臂以第一弧形运动进行运动；然后在局部斑点位于衬底上时对于道次的第二部分使摆臂以相反的第二弧形运动进行运动。

主权项：1.一种用于扫描衬底的方法，该方法包括：将衬底固定在加工室内的衬底固持器上；以及通过同步驱动第一旋转驱动器和第二旋转驱动器以使该衬底相对于聚焦于该衬底上的局部斑点上的加工设备运动来执行平行光栅图案的第一道次，该第一旋转驱动器联接到摆臂的近端，并且该第二旋转驱动器安装在该摆臂的远端处并安装到该衬底固持器，其中在该第一道次期间驱动该第一旋转驱动器包括：在该局部斑点位于该衬底上时对于该第一道次的第一部分使该摆臂以第一弧形运动进行运动，以及然后在该局部斑点位于该衬底上时对于该第一道次的第二部分使该摆臂以相反的第二弧形运动进行运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东京毅力科创美国制造与工程公司 具有摆动件和可旋转衬底固持器的衬底扫描设备

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