申请/专利权人：凌嘉科技股份有限公司

申请日：2022-09-08

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117702071A

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.02#实质审查的生效;2024.03.15#公开

摘要：一种末端返回式双面立式镀膜设备，包含第一排真空腔、第二排真空腔、转移真空腔及回流区。所述第一排真空腔设置在基准线的一侧且包括第一真空腔、第二真空腔及第三真空腔。所述第二排真空腔设置于所述基准线的另一侧且包括第四真空腔、第五真空腔及第六真空腔。所述第一排真空腔与所述第二排真空腔设置在邻近所述基准线的一侧的腔门彼此错开。载具能沿着由所述第一排真空腔、所述转移真空腔、所述第二排真空腔及所述回流区所形成的循环路径移动。本发明能节省设备占地面积，且各真空腔的腔门互相错开不干涉，方便维修或故障排除。

主权项：1.一种末端返回式双面立式镀膜设备，适用于对载具所载送的至少一个待镀物的双面镀多层膜，所述待镀物沿上下方向延伸且具有沿长方向延伸的第一面及第二面，所述第一面与所述第二面在横方向上相反设置，所述横方向、所述上下方向与所述长方向实质上互相垂直，其特征在于：所述末端返回式双面立式镀膜设备包含：第一排真空腔，设置在平行于所述长方向的基准线的一侧，所述第一排真空腔供所述载具进入且包括沿所述长方向依序连接的第一真空腔、第二真空腔及第三真空腔；第二排真空腔，设置于所述基准线的另一侧且与所述第一排真空腔间隔一个通道，所述第二排真空腔供所述载具进入且包括依序连接的第四真空腔、第五真空腔及第六真空腔，所述第四真空腔与所述第三真空腔在所述横方向上间隔相对，所述第六真空腔与所述第一真空腔在所述横方向上间隔相对，一部分之前述真空腔的腔门设置在邻近所述基准线的一侧，另一部分之前述真空腔的腔门设置在远离所述基准线的一侧，所述第一排真空腔与所述第二排真空腔设置在邻近所述基准线的一侧的腔门彼此错开，所述第二真空腔的腔门与所述第五真空腔的腔门同向设置；转移真空腔，沿所述横方向连接于所述第一排真空腔与所述第二排真空腔的一端；及回流区，沿所述横方向连接于所述第一排真空腔与所述第二排真空腔的另一端，借此使所述载具能沿着由所述第一排真空腔、所述转移真空腔、所述第二排真空腔及所述回流区所形成的循环路径移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 凌嘉科技股份有限公司 末端返回式双面立式镀膜设备

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